85206"设备完整不缺件;
电压:208/230+10% VAC,单相;
功耗:1.1kVA;
电源频率:50/60Hz;
最大功率:2.3kVA;
晶圆尺寸:6英寸和8英寸晶圆;
晶圆厚度:350m~1100m;
晶圆载具:2FUP6和8晶圆;
映射微光学传感器SECS-GEM接口;
压力:100psi/689KPa(土10%范围);
流量:2SCFM/80L/min(士10%范围);
AMC:挥发性有机化合物(VOC)的最大浓度必须小于150ng/;
阴离子必须小于14ng/,阳离子必须小于10ng/;
湿度含量:在1.0atm压力下小于20PPM,对应露点为-30°C(-22°F),真空;
压力:-680 mm Hg/-90 KPa (±10%量程);
流量:0.64 SCFM/18L/min(±10%范围); |
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