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LAM
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详细配置
状 态
SAMCO PD-3800L薄膜沉积
SAMCO
PD-3800L
-
-
国内
SAMCO PD-4800
SAMCO
PD-4800
-
-
国内
SAMCO RIE-200IPC刻蚀去胶
SAMCO
RIE-200IPC
-
-
国内
SAMCO RIE-200IP刻蚀去胶
SAMCO
RIE-200IP
-
-
国内
SAMCO RIE-212IPC刻蚀去胶
SAMCO
RIE-212IPC
-
-
国内
SAMCO RIE-232IPC刻蚀去胶
SAMCO
RIE-232IPC
-
-
国内
SPTS HRM ICP刻蚀去胶
SPTS
HRM ICP
-
-
国内
STS PECVD薄膜沉积
STS
PECVD
-
-
国内
KARL SUSS FC150研磨封装
KARL SUSS
FC150
-
-
国内
KARL SUSS MA150光刻直写
KARL SUSS
MA150
-
-
国内
KARL SUSS SB6长晶键合
KARL SUSS
SB6
-
-
国内
SV90S 涂胶显影机
-
SV90S
-
-
国内
TECADIA TEC-3005KD研磨封装
TECADIA
TEC-3005KD
-
-
国内
Tektronix 370A芯片测试
Tektronix
370A
-
-
国内
TEL MK-2涂胶显影
TEL
MK-2
-
-
国内
TEL MARK-V涂胶显影机
TEL
MARK-V
-
-
国内
Tencor Omnimap RS35C薄膜测量
Tencor Omnimap
RS35C
-
-
国内
THERMCO 5200薄膜沉积
THERMCO
5200
-
-
国内
TEL SEIMITSU A-PM-90A芯片测试
TEL
A-PM-90A
-
-
国内
TOWA SL473D2
TOWA
SL473D2
-
-
国内
ACCRETECH TSK UF300A探针台
ACCRETECH东京精密
UF300A
-
-
国内
ULVAC CC-200C薄膜沉积
ULVAC爱发科
CC-200C
-
-
国内
ULVAC NA8000刻蚀去胶
ULVAC爱发科
NA8000
-
-
国内
ULVAC NE950刻蚀去胶
ULVAC爱发科
NE950
-
-
国内
ULVAC NE5000N刻蚀去胶
ULVAC爱发科
NE5000N
-
-
国内
ULVAC SME 200溅射台
ULVAC爱发科
SME-200
-
-
国内
Varian 947台式检漏仪
Varian
947
-
-
国内
West Bond 7200AR研磨封装
West Bond
7200AR
-
-
国内
West Bond 7400A研磨封装
West Bond
7400A
-
-
国内
YES-5 OVEN快退加热
-
-
-
-
国内
KARL SUSS MA6光刻机
KARL SUSS
MA6
-
-
国内
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1982
5"
国内
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1995
5"
国内
CANON MPA-500FAB光刻机
CANON
MPA-500FAB
1995
5"
国内
CANON MPA-500FAB光刻机
CANON
MPA-500FAB
1996
5"
国内
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1983
5"
国内
CANON PLA-501FA投影式光刻机
CANON
PLA-501FA
1983
5"
国内
涂胶显影机
SVG
MSX1000
-
2"
国内
刷片机
DNS
SC-W80A-AVFG
1996.12
8"
国内
涂胶显影机
DNS
SCW-636-BV
1988
6"
国内
TEL MARK-II显影机
TEL
MARK-II
-
6"
国内
TEL MARK-II显影机
TEL
MARK-II
-
6"
国内
TEL IW-6D扩散炉
TEL
IW-6D
1996
5"
国内
TEL IW-6D扩散炉
TEL
IW-6D
1997
5"
国内
TEL UL-2604-08-HS扩散炉
TEL
UL-2604-08-HS
-
6"
国内
TEL UL-2604-08-HS扩散炉
TEL
UL-2604-08-HS
-
6"
国内
TEL UL-2604-08-HS扩散炉
TEL
UL-2604-08-HS
-
6"
国内
TEL UL-2604-08L扩散炉
TEL
UL-2604-08L
1990
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-11·2-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-11·2-2
-
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-12·2-1扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-12·2-1
-
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-5·3-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-5·3-2
-
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-7·3-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-7·3-2
-
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-8·3-7扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-8·3-7
-
6"
国内
NITTO DENKO USD-6·D-8·3-8扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-8·3-8
-
6"
国内
Toshiba Machine EGV-28GX外延炉
Toshiba Machine
EGV-28GX
1998
6"
国内
干法刻蚀机
Shibaura
CDE-7-3A
-
6"
国内
HITACHI M-308AT干法刻蚀机
HITACHI
M-308AT
-
6"
国内
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
-
6"
国内
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
-
6"
国内
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
-
6"
国内
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
-
6"
国内
TEL TE480HGC干法刻蚀机
TEL
TE480HGC
-
6"
国内
TEL TE480HGC干法刻蚀机
TEL
TE480HGC
-
6"
国内
TEL VDF610S扩散炉
TEL
VDF610S
-
6"
国内
NISSIN NH-20SR离子注入机
NISSIN日新
NH-20SR
-
6"
国内
NISSIN NH-20SR离子注入机
NISSIN日新
NH-20SR
-
6"
国内
打标机
NEC Laser Automation
SL-473F
1997
5"
国内
烘箱
DAN SCIENCE
DI-200H-AR
-
6"
国内
TEL MAC-92CV掩膜版测试仪
TEL
MAC-92CV
-
6"
国内
电阻率测试仪
NAPSON
RG-8
-
6"
国内
旋转涂膜机
Dainippon Screen MFC
SCW-622-BV
-
6"
国内
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
1998
6"
国内
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
1998
6"
国内
NITTO SEIKI Detaper去膜机
NITTO SEIKI
Detaper
-
6"
国内
Nanometrics M-215膜厚测量仪
Nanometrics
M-215
1989.05
6"
国内
Nanometrics M-215膜厚测量仪
Nanometrics
M-215
1989.05
6"
国内
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-H55RM
-
6"
国内
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-H55RM
-
6"
国内
USHIO UMA-802-HC55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-HC551RM
-
6"
国内
USHIO UMA-802-HC55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-HC55RM
-
6"
国内
检版机
VPRA-6
-
6"
国内
NIKON NSR SF120光刻机
NIKON
NSR-SF120
-
12" 缺件
国内
NIKON NSR SF120光刻机
NIKON
NSR-SF120
-
12" 缺件
国内
NIKON NSR SF130光刻机
NIKON
NSR-SF130
-
12" 缺件
国内
NIKON NSR 4425i光刻机
NIKON
NSR-4425i
1995.1
8" 缺件
国内
NIKON NSR 1755i7A光刻机
NIKON
NSR-1755i7A
1990.9
6" 缺件
国内
NIKON NSR 2005i8A光刻机
NIKON
NSR-2005i8A
-
6"
国内
TEL Lithius涂胶显影机
TEL
Lithius
2005.3
8"
国内
Toho technology H840A甩干机
Toho technology
H840A
-
6"
国内
Toho technology H841A甩干机
Toho technology
H841A
-
6"
国内
Arbrown SPD-160RN甩干机
Arbrown
SPD-160RN
-
6"
国内
Arbrown H1220RNN甩干机
Arbrown
H1220RNN
-
6"
国内
甩干机
SCREEN
R1W-811
-
6"
国内
Varian 120XP大束流离子注入机
Varian
120XP
1989.9
6"大束流
国内
NIKON NSR 2005i8A光刻机
NIKON
NSR-2005i8A
-
6" 备件机
国内
NIKON NSR 1505G7E光刻机
NIKON
NSR-1505G7E
-
6"备件机
国内
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
-
6"备件机
国内
KOKUSAI DD-803V扩散炉
KOKUSAI
DD-803V
1991.7
6"
国内
TECHNOS TREX610T缺陷测试仪
TECHNOS
TREX610T
-
6"
国内
TEL MARK8涂胶显影机
TEL
MARK8
1997.3
8"
国内
涂胶机
SVG
SVG8800
-
6"
国内
涂胶机
SVG
SVG8800
-
6"
国内
显影机
SVG
SVG8800
-
6"
国内
显影机
SVG
SVG8800
-
6"
国内
烘箱
Yes-1
-
6"
国内
旋涂机(3个工位)
MIKASA
3H-D3
1991
-
国外
DAILITE S-488旋涂机
DAILITE
S-488
2002
-
国外
SDI COMPANY SA-0903半自动浸涂布机
SDI COMPANY
SA-0903
2009
设备名称：半自动浸涂机
型号：SA-0903
制造商：SDI
国外
旋涂机
S&D
SDC-600
2008
-
国外
旋转涂布机
MIKASA
MS-A150
-
-
国外
蚀刻装置
TOK
TCE-3822
2011
设备名称：蚀刻装置
型号：TCE-3822
制造商：东京应化&
国外
Panasonic E620I金属干法蚀刻机
Panasonic
E620I
2013
-
国外
CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR)
CANON
L-310R-E
1999
设备名称：真空蚀刻设备(ECR)
型号：L-310R-E
制造
国外
SAMCO RIE-200NL等离子蚀刻系统
SAMCO
RIE-200NL
2008
-
已售出
CANON L-201D-L真空蚀刻设备
CANON
L-201D-L
1998
-
国外
HITACHI DD-812V立式扩散炉
HITACHI
DD-812V
2007
-
国外
SAMCO PD-200STP CVD设备氧化硅膜
SAMCO
PD-200STP
2010
设备名称：液体原料CVD设备
型号：PD-200STP
制造商
国外
SAMCO PD-10M等离子CVD设备(DLC薄膜)
SAMCO
PD-10M特
-
-
国外
溅镀装置(DVD)
芝浦机电一体化
S-200U
2010
设备名称：溅镀装置(DVD)
型号：S-200U
制造商：芝浦
国外
CANON SPF-730 溅射设备
CANON
SPF-730
-
设备名称：溅射设备批量类型
型号：SPF-730
制造商：CA
国外
CANON C-7960FL溅射装置(CtoC)单晶片型
CANON
C-7960FL
1998
-
国外
CANON L-501S-FHL溅射设备(CtoC)
CANON
L-501S-FHL
2004
设备名称：溅射设备(CtoC)
型号：L-501S-FHL
制
国外
溅射装置(DVD)
SHIBAURA
COAT-7000
1999
-
国外
CANON L-332S-FH溅射设备
CANON
L-332S-FH
1998
-
国外
ULVAC SV-200批量式溅射设备
ULVAC爱发科
SV-200
2000
PVD
国外
溅射设备
JVC
F0692
-
-
国外
ULVAC SME 200E溅射台
ULVAC爱发科
SME-200E
2006
-
国外
CANON C-3103溅射设备
CANON
C-3103
1996
设备名称：溅射设备
型号：C-3103
年份：1996
制造
国外
SHIBAURA COAT-7000溅镀装置
SHIBAURA
COAT-7000
1999
DVD
国外
CANON 特型L-400EK-L薄膜沉积设备
CANON
特型L-400EK-L
2002
设备名称：薄膜沉积设备
型号：特型 L-400EK-L
制造商
国外
校对装置
AYUMI
AL-60M
2005
-
国外
晶圆・粉尘检测设备
TOPCON
WM-3
-
设备名称：晶圆粉尘检查设备
型号：WM-3
制造商：TOPCO
国外
CANON PLA-600F光罩校准器
CANON
PLA-600F
-
-
国外
CANON PLA-600光罩校准器
CANON
PLA-600
-
-
国外
SHIMADZU ALLS-100X-33CⅡ液晶注入装置
SHIMADZU島津
ALIS-100X-33CⅡ
2005
设备名称：液晶注⼊装置
型号：ALIS-100X-
国外
Techno Rise TUVC150SO紫外线臭氧清洁设备
Techno Rise
TUVC150SO
2004
-
国外
光罩旋转清洁机
KMX
MSC-150S-MS
1999
-
国外
USHIO UIS-25103AA紫外线照射装置
USHIO
UIS-25103AA
2012
设备名称：紫外线照射装置
型号：UIS-25103AA
制造商
国外
紫外线照射装置
ORC
ORE4002A
2005
设备名称：紫外线照射装置
型号：ORE4002A
制造商：OR
国外
旋转干燥机
AR BROWN
SPD-160RN
1995
-
国外
旋转漂洗干燥机
SEMITOOL
SRD-470S
-
1、电源电压：1相100V 18A
2、频率：50/60 Hz
国外
FPP用高压喷射水流装置
RIX
JS-100-DD
2005
-
国外
ULTRONICS UH108晶圆保护膜粘贴装置(覆膜机)
ULTRONICS
UH108
-
设备名称：晶圆保护膜粘贴装置
型号：UH108
制造商：ULT
国外
ULTRONICS UH110晶圆保护膜剥离器(除膜机)
ULTRONICS
UH110
-
设备名称：晶圆胶带剥离器
型号：UH110
制造商：ULTRO
国外
TAKATORI TRA-P晶圆转移装置转移机
TAKATORI
TRA-P
2004
设备名称：晶圆转移装置转移机
型号：TRA-P
制造商：Tak
国外
JEL转移机器人
JEL
SHR3130S-200-PM-0092
-
设备名称：转移机器⼈
型号：SHR3130S-20
国外
转移机器人
Brooks Automation
MultiTran? 5/VacuTran? 5
-
-
国外
晶圆转移机
IMES
WTMC01
2008
-
国外
Daitron DDMT-200-E晶圆剥离装置
Daitron
DDMT-200-E
2011
-
国外
ULVAC PSS85/85红外灯加热装置可变气氛灯
ULVAC爱发科
PSS85/85
2008.6
设备名称：红外灯加热装置可变⽓氛灯加热装置中可变&#
国外
YDK triton-EFEM晶圆传送设备
YDK
triton-EFEM
-
-
国外
隔膜式真空层压机
NISHIKAWA西川制作所
EG-0901
2009
设备名称：均热散热板粘贴装置
型号：EG-0901
制造商：&
国外
曝光装置
Oak橡树制造
EXF-2005-B-00
2006
设备名称：光刻装置
型号：EXF-2005-B-00
年份：2
国外
DISCO DWR1721纯水循环装置
DISCO
DWR1721
-
-
国外
DISCO DWR1722纯水循环设备
DISCO
DWR1722
2016
-
国外
DISCO EAD6340全自动切割机
DISCO
EAD6340
-
-
国外
DISCO DFL7340全自动激光切割机
DISCO
DFL7340
-
-
国外
HITACHI IMR-3-1离子铣削装置
HITACHI
IMR-3-1
1992
设备名称：离⼦铣削装置
型号：IMR-3-1
年
国外
NISHIKAWA EG-0901隔膜式真空层压机
NISHIKAWA
EG-0901
2009
设备名称：均热散热板粘贴装置
型号：EG-0901
制造商：&
国外
倒装芯片键合机
Panasonic
NM-SB50A
2017
-
国外
Nordson XD7600NT X射线检测系统
Nordson
XD7600NT
2011
-
国外
DSI HCT2B28HEX-3退火炉
DSI
HCT2B28HEX-3
2007
-
国外
Technovision FM-903S晶圆贴片机
Technovision
FM-903S
-
-
国外
HITACHI WF-R55UV-H5微小线幅测定装置
HITACHI
WF-R55UV-H5
2007
设备名称：微线宽测量装置
型号：WF-R55UV-H5
制造商
国外
接合装置 阳级真空接合装置
Ayumi Industry
BH-50
2009
设备名称：接合装置阳极真空接合装置
型号：BH-50
制造商：
国外
ULVAC RTA-4050红外灯加热炉
ULVAC爱发科
RTA-4050
2002
设备名称：红外线灯加热装置 RAT
型号：RTA-4050
制
国外
Futek Furnace VF-KH150 6寸基板加热炉
Futek Furnace
VF-KH150
-
设备名称：加热炉6英⼨基板加热炉
型号：VF-KH
国外
OLED发布寿命测试
EHC
ELS-100S
-
-
国外
USHIO CE-6000CH紫外线固化曝光设备
USHIO
CE-6000CH
2005
设备名称：6⼨晶圆光刻装置紫外线固化
型号：CE-
国外
Electronic Plaza 2220⼤⽓压等离
Electronic Plaza
2220
2010
设备名称：⼤⽓压等离⼦体
国外
晶圆阻抗形状测试机
KOBELCO
RPW-1000M
2004
-
国外
BECKMAN OPTIMA XE-90落地式超速离心机
BECKMAN/COULTER
OPTIMA XE-90
2014
-
国外
CV测试仪
Four Dimension
CVmap 92A
2014
设备名称：CV测试仪
型号：CVmap 92A
制造商：Fou
国外
自动曝光对位机
MIKASA
MA-20
1997
设备名称：对准曝光机
商品编号：K40002
型号：MA-20
国外
AMADA MS-TR4871激光修整装置
AMADA MIYACHI
MS-TR4871
2012
设备名称：(HIC)修复装置
型号：MS-TR4871
制造商
国外
Technovision TW-300光掩膜清洗装置
Technovision
TW-300
1997
设备名称：光罩清洗装置
型号：TW-300
制造商：Techn
国外
ULVAC PSS85/85可变氛围灯加热装置
ULVAC爱发科
PSS85/85
2008
设备名称：红外灯加热装置可变⽓氛灯加热装置中可变&#
国外
ACCRETECH A-WD-5001A划片机
ACCRETECH东京精密
A-WD-5001A
1999
-
国外
阳极真空键合设备
AYUMI
AB-40A-S
2007
-
国外
CLIMB PRODU SE330H覆膜机
CLIMB PRODU
SE330H
2009
设备名称：覆膜装置
型号：SE330H
制造商：CLIMB P
国外
ULVAC VHC-E416红外灯加热装置
ULVAC爱发科
VHC-E416
-
设备名称：红外灯加热装置⽓氛可变中/⾼
国外
HITACHI IMR-3-1离子铣削装置
HITACHI
IMR-3-1
1992
设备名称：离⼦铣削装置
型号：IMR-3-1
年
国外
ADVANCED LITMAS RPS远程等离子体源
ADVANCED ENERGYAE
LITMAS RPS
2020
设备名称：远程等离⼦
型号：LITMAS RPS
国外
台式抛光机打磨机
Eyelash curler
49-5100-115
-
设备名称：台式抛光机打磨机
型号：49-5100-115
制造
国外
TF切断装置
Apic Yamada
CS-813-1
1997
设备名称：TF切断装置
型号：CS-813-1
年份：1997
国外
圆度测量仪
Taylor Hobson
TALYROND 265
2000
设备名称：圆度测量仪
型号：TALYROND 265
制造商：
国外
偏光板粘贴装置
⽯⼭制作所
FS0823
1997
-
国外
抗蚀剂剥离清洗装置
access
MSR-360U
-
-
国外
SEN HCT2B28HEX-3紫外线照射固化装置
SEN
HCT2B28HEX-3
-
-
国外
⼩型台式等离⼦清洁器PiPi
大和材料
PiPi
2016
规格参数：
1、等离⼦模式：RIE
2、振荡频率
国外
CV测量装置
Four Dimension
CV MAP 92A
2014
设备名称：CV测量装置
型号：CV MAP 92A
制造商：F
国外
热油实试验机/通孔可靠性测试仪
SHIMAKAWA
PH-500D
2004
设备名称：热油实试验机/通孔可靠性测试仪
型号：PH-500D
国外
Nanometrics M6100膜厚测定装置
Nanometrics
M6100
-
设备名称：膜厚测定装置
型号：M6100
制造商：Nanome
国外
纳米计量学 7200-2134膜厚测定装置
纳米计量学
7200-2134
-
设备名称：膜厚测定装置
型号：7200-2134
制造商：纳&
国外
Nanometrics M6100UV-L6膜厚测定装置
Nanometrics
M6100UV-L6
-
设备名称：膜厚测定装置
型号：M6100UV-L6
制造商：N
国外
Nanometrics M6100UV-L6膜厚测定装置
Nanometrics
M6100UV-L6
-
设备名称：膜厚测定装置
型号：M6100UV-L6
制造商：N
国外
Logitech 1PM52抛光机
Logitech
1PM52
-
设备名称：抛光机
型号：1PM52
制造商：Logitech
国外
断线装置断线机
小坂研究所
JKB-505M
-
设备名称：断线装置断线机
型号：JKB-505M
制造商：&#
国外
Futec Furness VF-KH150加热炉6英寸基板加热炉
Futec Furness
VF-KH150
-
设备名称：加热炉6英⼨基板加热炉
型号：VF-KH
国外
Adtech AXR-1000射频电源
Adtech
AXR-1000
2008
设备名称：射频电源
型号：AXR-1000
制造商：Adtec
国外
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