| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
 |
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
设备完整不缺件,在线热机在亚洲; |
国外
|
 |
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2015 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA |
SP2 |
2011 |
设备完整不缺件,在线热机,晶圆片300mm; |
国外
|
|
KLA Candela 8420表面缺陷检测系统 |
KLA |
Candela 8420 |
2020 |
设备完整不缺件,20年入厂,设备九成新以上; |
国内
|
|
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA |
SFS6220 |
1997 |
2016年翻新,激光器于2020年3月更换,最后一次PM于2023年8月在美国进行，2",3",4",6",8"； |
国外
|
 |
KLA P15轮廓仪 |
KLA |
P15 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
KLA RS55方阻测试 |
KLA |
RS55 |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
 |
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国外
|
|
KLA KLA2132缺陷检测测 |
KLA |
KLA2132 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
 |
KLA KLA2135缺陷检测 |
KLA |
KLA2135 |
- |
在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
|
KLA Tencor CS10 R表面分析仪 |
KLA |
CS10 R |
- |
- |
国外
|
|
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
2007 |
- |
国外
|
|
KLA Tencor 8620晶圆检测系统 |
KLA |
8620 |
- |
- |
国外
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA |
SFS6200 |
1994 |
8"设备完整不缺件,已翻新好在美国;
0.1 micron Defect Sensitivity (PSL STD)
0.02 ppm Haze Sensitivity
0.002 ppm Haze Resolution
Accur |
国外
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 |
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
美国在线热机,用于4英寸和6英寸; |
国外
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 |
KLA Surfscan SP1晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1 |
2007 |
TBI翻新掩模和晶圆检测,300/200mm x 3个端口,设备在美国; |
国外
|
 |
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP2 |
2007 |
在线热机,300毫米掩模和晶圆检测(亚洲); |
已售出
|
 |
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA科磊 |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA |
UV1280SE |
2001 |
用途：薄膜测量系统
型号：UV1280SE
出厂日期：2001
系统配置：
目前配置为200mm晶圆尺寸
处理器：H3-NR晶圆处理器,SMIF x1
钱箱搬运：SMIF
机器人：H3PRI晶圆搬运器,双端效应器
夹头类型： |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
已翻新; |
国外
|
 |
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA |
UV1280SE |
2000 |
已翻修完无缺件,可验机保固3个月; |
国内
|
|
KLA Leica INS3000侧扫声纳 |
KLA |
INS3000 |
1999 |
有2台,月底卖掉.. |
国外
|
 |
KLA Tencor RS-75薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
RS-75 |
- |
- |
国外
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 |
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2000 |
竞标中.. |
国外
|
 |
KLA Tencor 6400晶圆检测设备 |
KLA科磊 |
6400 |
1994 |
竞标中.. |
国外
|
 |
KLA Tencor 7700缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
Tencor-7700 |
1997 |
- |
国外
|
|
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2001 |
- |
国内
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SFS6200 |
1995 |
The Surfscan 6200 is a tool that is capable of detecting defects as small as 0.09 μm with an 80% capture rate. It can lo |
国外
|
 |
KLA SURFSCAN 4500颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
4500 |
- |
4" |
国外
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 |
KLA Surfscan SP3晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
SP3 |
2014 |
在线热机,2月份拆机; |
国外
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|
KLA AIT 1缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
AIT 1 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA Kevex 7600颗粒测试仪 |
KLA科磊 |
Kevex 7600 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA Tencor 7700缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
Tencor-7700 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA Viper 2401缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
Viper 2401 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA Kevex 7600颗粒测试仪 |
KLA科磊 |
Kevex 7600 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA Kevex 7600颗粒测试仪 |
KLA科磊 |
Kevex 7600 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA 2131缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
2131 |
- |
6"备件机; |
国内
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
4 |
国外
|
|
KLA-Tencor (ICOS) CD测量 |
KLA科磊 |
ICOS6100_7.6 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA-Tencor (ICOS) CD测量 |
KLA科磊 |
Manual |
- |
1 |
国外
|
|
KLA IVC-4000缺陷检测设备 |
KLA科磊 |
IVC-4000 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2015-02-01 |
已打包 |
国外
|
|
KLA Industrial Camera工业相机 |
KLA科磊 |
IVC-2000 |
- |
2 |
国外
|
|
KLA FLX-5400 Flexus晶圆翘曲度测量仪 |
KLA科磊 |
FLX-5400 |
2015-02-01 |
已打包 |
国外
|
|
KLA CI-T830 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T830 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T120 |
- |
3 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
2 |
国外
|
|
KLA CI-T130 lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA Industrial Camera工业相机 |
KLA科磊 |
IVC-1600 |
- |
2 |
国外
|
|
KLA Surfscan SP3(上料机构) |
KLA科磊 |
SP3 |
2012.3 |
上料机构; |
国外
|
|
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP2 |
- |
300mm,真空处理与三重FIMS;
全面翻新和校准,在洁净室中.
Currently configured for 300mm, Vacuum Handling with Triple FIMS
All SP2 are fully |
国外
|
|
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2002.8 |
300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 |
国外
|
|
KLA UV-1050薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV-1050 |
1996.5 |
200mm As-Is, Where-Is;含软件及硬盘 |
国外
|
|
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2005.2 |
300mm,Where-Is,不含硬盘; |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
Equipment Make: KLA-Tencor
Equipment Model: SP 1-TBI
Wafer Size: 8,12inch
Equipment Configuration
- Windows |
国外
|
|
HITACHI KLA8100扫描电镜 |
HITACHI |
KLA8100 |
- |
6"有1台; |
已售出
|
|
KLA 2131缺陷检测设备 |
KLA科磊 |
2131 |
- |
6"有1台; |
已售出
|
|
KLA Ultrascan 9300掩模版检测设备 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9300 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Ultrascan 9000光测量系统 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9000 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA AFS-3220晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
AFS-3220 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Surfscan SP3晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
SP3 |
- |
6-12 As-is |
已售出
|
|
KLA Surfscan SP1 DLS晶圆检测仪 |
KLA科磊 |
SP1-DLS |
- |
6-12 As-is |
国外
|
|
KLA PHX DF 5.0缺陷检测设备 |
KLA科磊 |
PHX DF 5.0 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Leica INM300金相显微镜 |
KLA |
INM300 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA P-15单向节流阀 |
KLA科磊 |
P-15 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA ACROTEC6020晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
ACROTEC 6020 |
- |
Inspection system/PC/HDD. |
国外
|
|
KLA Filmetrics F20薄膜测厚仪 |
KLA科磊 |
F20 |
2021 |
Thickness Measurement |
国外
|
|
KLA ADE 9500晶圆计量与检测设备 |
KLA |
ADE-9500 |
- |
Multifunctional measurement |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV1280SE |
2000 |
Film Thickness Measurement |
国外
|
|
KLA-Tencor M-Gage 300薄膜电阻测量设备 |
KLA科磊 |
M-Gage 300 |
2001 |
Al Thickness measurement 8寸 |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
有两台 |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
2000 |
Kla-tencor One Technology Driveu iMilpitas , CA 95035
Model : SPI-TBI
Serial No : 0800-0496
Voltage : 208-240 , I Pha |
已售出
|
|
KLA CANDELA CS2薄膜测量 |
KLA |
CANDELA CS2 |
- |
- |
国内
|
|
KLA ICOS T830测试系统 |
KLA |
ICOS T830 |
- |
1 SET |
国外
|
|
KLA Leica AT500激光跟踪仪 |
KLA |
AT500 |
- |
1 SET |
国外
|
|
KLA CI-T53P检测设备 |
KLA |
CI-T53P |
- |
1 SET |
国外
|
|
KLA WI-2280晶圆检测机台 |
KLA |
WI-2280 |
- |
- |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[Semi power-on] 2port(Asyst ISO port), Robot & aligner(Yaskawa) |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[As-is] 2ea*Loadport(Phoenix), Yaskawa(Robot&Aligner), 2channel, Mercury Image PC, Dell PowerEdge 2600 without HDD, Stag |
国外
|
|
KLA Aleris CX晶圆检测系统 |
KLA |
Aleris CX |
2007 |
[As-is] 2*loadport(TDK TAS300), Yaskwa(Robot & Aligner) |
国外
|
|
KLA Surfscan 2.1晶圆检测系统 |
KLA |
Surfscan 2.1 |
- |
- |
国外
|
|
KLA AIT UV晶圆检测设备 |
KLA |
AIT UV |
2003 |
- |
国外
|
|
KLA Polylite 88薄膜测量系统 |
KLA |
Polylite 88 |
- |
- |
国外
|
|
KLA WI-2280晶圆检测机台 |
KLA |
WI-2280 |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV CD2 AMC检测设备 |
KLA |
MPV CD2 AMC |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV-CD尺寸量测设备 |
KLA |
MPV-CD |
- |
- |
国外
|
|
KLA SFS7700颗粒测试仪设备 |
KLA |
SFS7700 |
- |
- |
国外
|
|
KLA Ergolux表面轮廓仪 |
KLA |
Ergolux |
- |
- |
国外
|
|
KLA INM100+INS10显微镜 |
KLA |
INM100+INS10 |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV CD2 AMC检测设备 |
KLA |
MPV CD2 AMC |
- |
- |
国外
|
|
KLA CRS1010晶圆载台控制器 |
KLA科磊 |
CRS1010 |
1998 |
Microscope |
国外
|
|
KLA AIT Ⅱ缺陷检测仪 |
KLA科磊 |
AIT Ⅱ |
1999 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA ARCHER200叠对测量系统 |
KLA科磊 |
ARCHER200 |
2009 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA EDR-5210S晶圆缺陷检查系统 |
KLA科磊 |
EDR-5210S |
2011 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV1280SE |
2003 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA Tencor 2552缺陷数据分析处理仪 |
KLA科磊 |
2552 |
- |
As-is |
国外
|
|
KLA Viper 2435晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2435 |
2006 |
- |
国外
|
|
KLA Tencor ES31晶圆检查系统 |
KLA |
ES31 |
2004 |
E-beam Inspection / SEMs in Microscopes, Optical Inspection |
国外
|
|
KLA Spectra FX200薄膜量测 |
KLA |
FX200 |
2006 |
[Power-on] 2port(TDK), Yaskawa(Aligner, Robot) |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[As-is] Handler missing, Dell power edge 2600, Optic damaged, Stage failure & damaged, Many Missing parts |
国外
|
|
KLA Viper 2438晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2438 |
2010 |
- |
国外
|
|
KLA DP2缺陷检测设备 |
KLA |
DP2 |
2012 |
DP2 Data Prep Station |
国外
|
|
KLA NANOMAPPER表面轮廓仪 |
KLA |
NANOMAPPER |
2006 |
[As-is] 2x Open Foup type, Kensington(Robot&Controller), Stage locked) |
国外
|
|
KLA HRP-340表面轮廓测量系统 |
KLA |
HRP-340 |
2004 |
2port(Asyst ISO port), stage locked by KLA Standard, Brooks(Robot&Aligner), HDD included, S/W ver. V7.3, |
国外
|
|
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测 |
KLA |
EDR-5210 |
- |
2x Load port( Brooks, Brooks Robot&Aligner, Edward TMP, Varian ion pump, ICA Dry Cool(OXIFORD) |
国外
|
|
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测 |
KLA |
EDR-5210 |
2010 |
2xLoad port(Brooks FixLoad), Robot& Aligner(Brooks),TMP(Edward),Ion pump(Varian) |
国外
|
|
KLA Puma 9130晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9130 |
2005 |
[As-is] 2ea*Loadport(Asyst), PRI aligner, Brooks robot, SCC(Dell Power Edge2900), Stage locked by KLA-Tencor standard, 2 |
国外
|
|
KLA Viper 2438晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2438 |
2008 |
- |
国外
|
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