UV1280SE用途：薄膜测量系统
型号：UV1280SE
出厂日期：2001
系统配置：
目前配置为200mm晶圆尺寸
处理器：H3-NR晶圆处理器,SMIF x1
钱箱搬运：SMIF
机器人：H3PRI晶圆搬运器,双端效应器
夹头类型：100/150/200mm
操作员界面：轨迹球和键盘标准
电脑配置：
1.CPU：奔腾III 850MHz
2.内存：256MB
设施：
1.真空：20“(510 mm)Hg@1 SCFM
2.空气：最小80-100 psi
3.排气口和配件：直径6“(150mm),柔性软管,每分钟拉力260立方英尺.
4.电源：1相220V VAC,50/60 Hz |
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