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设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
ASML PAS 5500/850D光刻机
ASML
PAS-5500/850D
2005
设备完整不缺件,2024.01月停产,目
国外
ASML XT1250D光刻机
ASML
XT1250D
-
设备完整不缺件;
国外
ASML AT850C光刻机
ASML
AT850C
2004
已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HD
国外
ASML PAS 5500/1150C光刻机
ASML
5500/1150C
2003.06
-
国外
ASML PASS 5500/100D光刻机
ASML
PASS 5500/100D
1996
6in(有3台)
国外
ASML XT1250D光刻机
ASML
XT1250D
-
无尘车间正常运转中
国外
ASML XT1250B光刻机
ASML
XT1250B
2005
-
国外
ASML XT1700Gi光刻机
ASML
XT1700Gi
2006
-
国外
ASML XT1700FI光刻机
ASML
XT1700FI
2009
-
国外
ASML XT1250D光刻机
ASML
XT1250D
2005
-
国外
ASML XT1250D光刻机
ASML
XT1250D
2004
1) Wafer 12inch
2)
国外
ASML XT1700FI光刻机
ASML
XT1700FI
2012
1700iP, uniformity(1
国外
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9
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。