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设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
KLA Tencor CS10 R表面分析仪
KLA
CS10 R
-
-
国外
KLA Tencor SFS6420晶圆检测
KLA
SFS6420
-
-
国外
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统
KLA
Tencor-8720
2017
设备完整不缺件,在亚洲.
国外
KLA Tencor Candela 8620晶圆检测系统
KLA
Tencor 8620
-
-
国外
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统
KLA
SFS6200
1994
设备完整不缺件,已翻新好在美国8".
国外
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统
KLA
Tencor-8720
2017
美国在线热机,用于4英寸和6英寸.
国外
KLA Surfscan SP1晶圆检测系统
KLA科磊
SP1
2007
TBI翻新掩模和晶圆检测
300/20
国外
KLA Tencor SFS6420晶圆检测
KLA科磊
SFS6420
1995
设备完整不缺件,有现货1台;
国外
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统
KLA
UV1280SE
2001
‧用途:薄膜测量系统
国外
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪
KLA科磊
SP1-TBI
-
已翻新
国外
KLA VISTEC LEICA INS3000侧扫声纳
KLA科磊
INS3000
1999
有2台,月底卖掉..
国外
KLA Tencor RS-75薄膜测量系统
KLA科磊
RS-75
-
-
国外
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪
KLA科磊
SFS6220
2000
竞标中..
国外
KLA Tencor 6400晶圆检测设备
KLA科磊
6400
1994
竞标中..
国外
KLA Tencor 7700缺陷测试仪
KLA科磊
Tencor-7700
1997
-
国外
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统
KLA科磊
SFS6200
1995
The Surfscan 6200 is
国外
KLA SURFSCAN 4500颗粒检测仪
KLA科磊
4500
-
4"
国外
KLA SURFSCAN SP3晶圆缺陷检测
KLA科磊
SP3
2014
在线热机,2月份拆机.
国外
KLA CI-T130 lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T130
-
1
国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T130
-
2
国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T120
-
3
国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T130
-
1
国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T130
-
4
国外
KLA CI-T830 Lead scanner扫脚机
KLA科磊
CI-T830
-
1
国外
KLA Industrial Camera工业相机
KLA科磊
IVC-1600
-
2
国外
KLA Industrial Camera工业相机
KLA科磊
IVC-2000
-
2
国外
KLA IVC-4000
KLA科磊
IVC-4000
-
1
国外
KLA-Tencor (ICOS) CD
KLA科磊
Manual
-
1
国外
KLA-Tencor (ICOS) CD
KLA科磊
ICOS6100_7.6
-
1
国外
KLA FLX-5400 Flexus晶圆翘曲度测量仪
KLA科磊
FLX-5400
2015-02-01
已打包
国外
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪
KLA科磊
SFS6220
2015-02-01
已打包
国外
KLA Surfscan SP3(上料机构)
KLA科磊
SP3
2012.3
上料机构
国外
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统
KLA科磊
SP2
-
300mm,真空处理与三重FIMS;
国外
KLA UV-1050薄膜测量系统
KLA科磊
UV-1050
1996.5
200mm As-Is, Where-I
国外
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪
KLA科磊
SP1-TBI
-
Equipment Make: KLA-
国外
KLA P-15单向节流阀
KLA科磊
P-15
-
8 As-is
国外
KLA PHX DF 5.0
KLA科磊
PHX DF 5.0
-
8 As-is
国外
KLA Ultrascan 9300
KLA科磊
Ultrascan 9300
-
8 As-is
国外
KLA Ultrascan 9000光测量系统
KLA科磊
Ultrascan 9000
-
8 As-is
国外
KLA AFS-3220
KLA科磊
AFS-3220
-
8 As-is
国外
KLA Surfscan SP1 DLS晶圆检测仪
KLA科磊
SP1-DLS
-
6-12 As-is
国外
KLA ACROTEC6020
KLA科磊
ACROTEC 6020
-
Inspection system/PC
国外
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统
KLA科磊
UV1280SE
2000
Film Thickness Measu
国外
KLA Filmetrics F20薄膜测厚仪
KLA科磊
F20
2021
Thickness Measuremen
国外
KLA-Tencor M-Gage 300
KLA科磊
M-Gage 300
2001
Al Thickness measure
国外
KLA Surfscan SP1 TBI晶圆检测系统
KLA科磊
SP1-TBI
-
有两台
国外
KLA AITⅡ缺陷检测仪
KLA科磊
AITⅡ
1999
METROLOGY
国外
KLA ARCHER200叠对测量系统
KLA科磊
ARCHER200
2009
METROLOGY
国外
KLA EDR-5210S晶圆缺陷检查系统
KLA科磊
EDR-5210S
2011
METROLOGY
国外
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统
KLA科磊
UV1280SE
2003
METROLOGY
国外
KLA Tencor 2552缺陷数据分析处理仪
KLA科磊
2552
-
As-is
国外
KLA Viper 2435
KLA科磊
Viper 2435
2006
-
国外
KLA Viper 2438
KLA科磊
Viper 2438
2008
-
国外
KLA Spectra FX200薄膜量测
KLA科磊
FX200
2006
[Power-on] 2port(TDK
国外
KLA CRS1010
KLA科磊
CRS1010
1998
Microscope
国外
KLA Polylite 88
KLA科磊
Polylite 88
-
-
国外
KLA Viper 2438
KLA科磊
Viper 2438
2010
-
国外
KLA Tencor ES31晶圆检查系统
KLA科磊
ES31
2004
E-beam Inspection /
国外
KLA DP2
KLA科磊
DP2
2012
DP2 Data Prep Statio
国外
KLA NANOMAPPER
KLA科磊
NANOMAPPER
2006
[As-is] 2x Open Foup
国外
KLA HRP-340
KLA科磊
HRP-340
2004
2port(Asyst ISO port
国外
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测
KLA科磊
EDR-5210
-
2x Load port( Brooks
国外
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测
KLA科磊
EDR-5210
2010
2xLoad port(Brooks F
国外
KLA Puma 9130晶圆检测系统
KLA科磊
Puma 9130
2005
[As-is] 2ea*Loadport
国外
KLA Puma 9000晶圆检测系统
KLA科磊
Puma 9000
2005
[As-is] Handler miss
国外
KLA WI-2280晶圆检测机台
KLA科磊
WI-2280
-
-
国外
KLA WI-2280晶圆检测机台
KLA科磊
WI-2280
-
-
国外
KLA AIT UV
KLA科磊
AIT UV
2003
-
国外
KLA Puma 9000晶圆检测系统
KLA科磊
Puma 9000
2005
[Semi power-on] 2por
国外
KLA Puma 9000晶圆检测系统
KLA科磊
Puma 9000
2005
[As-is] 2ea*Loadport
国外
KLA Aleris CX
KLA科磊
Aleris CX
2007
[As-is] 2*loadport(T
国外
KLA Surfscan 2.1
KLA科磊
Surfscan 2.1
-
-
国外
KLA MPV CD2 AMC
KLA科磊
MPV CD2 AMC
-
-
国外
KLA MPV CD2 AMC
KLA科磊
MPV CD2 AMC
-
-
国外
KLA MPV-CD
KLA科磊
MPV-CD
-
-
国外
KLA SFS7700
KLA科磊
SFS7700
-
-
国外
KLA Ergolux
KLA科磊
Ergolux
-
-
国外
KLA INM100+INS10
KLA科磊
INM100+INS10
-
-
国外
KLA CI-T53P
KLA科磊
CI-T53P
-
1 SET
国外
KLA ICOS T830测试系统
KLA科磊
ICOS T830
-
1 SET
国外
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。