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| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
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KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA |
SP2 |
2011 |
设备完整不缺件,在线热机,晶圆片300m |
国外
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KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA |
SFS6220 |
1997 |
2016年翻新,激光器于2020年3月更 |
国外
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KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国外
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KLA Tencor CS10 R表面分析仪 |
KLA |
CS10 R |
- |
- |
国外
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KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
2007 |
- |
国外
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 |
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
设备完整不缺件,在线热机在亚洲; |
国外
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KLA Tencor 8620晶圆检测系统 |
KLA |
8620 |
- |
- |
国外
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KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA |
SFS6200 |
1994 |
8"设备完整不缺件,已翻新好在美国;
|
国外
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KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
美国在线热机,用于4英寸和6英寸; |
国外
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KLA Surfscan SP1晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1 |
2007 |
TBI翻新掩模和晶圆检测,300/200 |
国外
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KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA科磊 |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国外
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KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA |
UV1280SE |
2001 |
用途：薄膜测量系统
型号：UV1280 |
国外
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|
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
已翻新; |
国外
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KLA Leica INS3000侧扫声纳 |
KLA |
INS3000 |
1999 |
有2台,月底卖掉.. |
国外
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KLA Tencor RS-75薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
RS-75 |
- |
- |
国外
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KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2000 |
竞标中.. |
国外
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KLA Tencor 6400晶圆检测设备 |
KLA科磊 |
6400 |
1994 |
竞标中.. |
国外
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KLA Tencor 7700缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
Tencor-7700 |
1997 |
- |
国外
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 |
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SFS6200 |
1995 |
The Surfscan 6200 is |
国外
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KLA SURFSCAN 4500颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
4500 |
- |
4" |
国外
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KLA Surfscan SP3晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
SP3 |
2014 |
在线热机,2月份拆机; |
国外
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|
KLA CI-T130 lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
2 |
国外
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|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T120 |
- |
3 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T130 |
- |
4 |
国外
|
|
KLA CI-T830 Lead scanner扫脚机 |
KLA科磊 |
CI-T830 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA Industrial Camera工业相机 |
KLA科磊 |
IVC-1600 |
- |
2 |
国外
|
|
KLA Industrial Camera工业相机 |
KLA科磊 |
IVC-2000 |
- |
2 |
国外
|
|
KLA IVC-4000缺陷检测设备 |
KLA科磊 |
IVC-4000 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA-Tencor (ICOS) CD测量 |
KLA科磊 |
Manual |
- |
1 |
国外
|
|
KLA-Tencor (ICOS) CD测量 |
KLA科磊 |
ICOS6100_7.6 |
- |
1 |
国外
|
|
KLA FLX-5400 Flexus晶圆翘曲度测量仪 |
KLA科磊 |
FLX-5400 |
2015-02-01 |
已打包 |
国外
|
|
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2015-02-01 |
已打包 |
国外
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|
KLA Surfscan SP3(上料机构) |
KLA科磊 |
SP3 |
2012.3 |
上料机构; |
国外
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|
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP2 |
- |
300mm,真空处理与三重FIMS;
|
国外
|
|
KLA UV-1050薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV-1050 |
1996.5 |
200mm As-Is, Where-I |
国外
|
|
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2002.8 |
300mm As-Is, Where-I |
国外
|
|
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2005.2 |
300mm,Where-Is,不含硬盘; |
国外
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|
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
Equipment Make: KLA- |
国外
|
|
KLA Leica INM300金相显微镜 |
KLA |
INM300 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA P-15单向节流阀 |
KLA科磊 |
P-15 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA PHX DF 5.0缺陷检测设备 |
KLA科磊 |
PHX DF 5.0 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Ultrascan 9300掩模版检测设备 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9300 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Ultrascan 9000光测量系统 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9000 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA AFS-3220晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
AFS-3220 |
- |
8 As-is |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 DLS晶圆检测仪 |
KLA科磊 |
SP1-DLS |
- |
6-12 As-is |
国外
|
|
KLA ACROTEC6020晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
ACROTEC 6020 |
- |
Inspection system/PC |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV1280SE |
2000 |
Film Thickness Measu |
国外
|
|
KLA Filmetrics F20薄膜测厚仪 |
KLA科磊 |
F20 |
2021 |
Thickness Measuremen |
国外
|
|
KLA ADE 9500晶圆计量与检测设备 |
KLA |
ADE-9500 |
- |
Multifunctional meas |
国外
|
|
KLA-Tencor M-Gage 300薄膜电阻测量设备 |
KLA科磊 |
M-Gage 300 |
2001 |
Al Thickness measure |
国外
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
有两台 |
国外
|
|
KLA AIT Ⅱ缺陷检测仪 |
KLA科磊 |
AIT Ⅱ |
1999 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA ARCHER200叠对测量系统 |
KLA科磊 |
ARCHER200 |
2009 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA EDR-5210S晶圆缺陷检查系统 |
KLA科磊 |
EDR-5210S |
2011 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
UV1280SE |
2003 |
METROLOGY |
国外
|
|
KLA Tencor 2552缺陷数据分析处理仪 |
KLA科磊 |
2552 |
- |
As-is |
国外
|
|
KLA Viper 2435晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2435 |
2006 |
- |
国外
|
|
KLA Viper 2438晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2438 |
2008 |
- |
国外
|
|
KLA Spectra FX200薄膜量测 |
KLA |
FX200 |
2006 |
[Power-on] 2port(TDK |
国外
|
|
KLA CRS1010晶圆载台控制器 |
KLA科磊 |
CRS1010 |
1998 |
Microscope |
国外
|
|
KLA Polylite 88薄膜测量系统 |
KLA |
Polylite 88 |
- |
- |
国外
|
|
KLA Viper 2438晶圆检测设备 |
KLA |
Viper 2438 |
2010 |
- |
国外
|
|
KLA Tencor ES31晶圆检查系统 |
KLA |
ES31 |
2004 |
E-beam Inspection / |
国外
|
|
KLA DP2缺陷检测设备 |
KLA |
DP2 |
2012 |
DP2 Data Prep Statio |
国外
|
|
KLA NANOMAPPER表面轮廓仪 |
KLA |
NANOMAPPER |
2006 |
[As-is] 2x Open Foup |
国外
|
|
KLA HRP-340表面轮廓测量系统 |
KLA |
HRP-340 |
2004 |
2port(Asyst ISO port |
国外
|
|
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测 |
KLA |
EDR-5210 |
- |
2x Load port( Brooks |
国外
|
|
KLA EDR-5210电子束缺陷再检测 |
KLA |
EDR-5210 |
2010 |
2xLoad port(Brooks F |
国外
|
|
KLA Puma 9130晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9130 |
2005 |
[As-is] 2ea*Loadport |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[As-is] Handler miss |
国外
|
|
KLA WI-2280晶圆检测机台 |
KLA |
WI-2280 |
- |
- |
国外
|
|
KLA WI-2280晶圆检测机台 |
KLA |
WI-2280 |
- |
- |
国外
|
|
KLA AIT UV晶圆检测设备 |
KLA |
AIT UV |
2003 |
- |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[Semi power-on] 2por |
国外
|
|
KLA Puma 9000晶圆检测系统 |
KLA |
Puma 9000 |
2005 |
[As-is] 2ea*Loadport |
国外
|
|
KLA Aleris CX晶圆检测系统 |
KLA |
Aleris CX |
2007 |
[As-is] 2*loadport(T |
国外
|
|
KLA Surfscan 2.1晶圆检测系统 |
KLA |
Surfscan 2.1 |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV CD2 AMC检测设备 |
KLA |
MPV CD2 AMC |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV CD2 AMC检测设备 |
KLA |
MPV CD2 AMC |
- |
- |
国外
|
|
KLA MPV-CD尺寸量测设备 |
KLA |
MPV-CD |
- |
- |
国外
|
|
KLA SFS7700颗粒测试仪设备 |
KLA |
SFS7700 |
- |
- |
国外
|
|
KLA Ergolux表面轮廓仪 |
KLA |
Ergolux |
- |
- |
国外
|
|
KLA INM100+INS10显微镜 |
KLA |
INM100+INS10 |
- |
- |
国外
|
|
KLA CI-T53P检测设备 |
KLA |
CI-T53P |
- |
1 SET |
国外
|
|
KLA ICOS T830测试系统 |
KLA |
ICOS T830 |
- |
1 SET |
国外
|
|
KLA Leica AT500激光跟踪仪 |
KLA |
AT500 |
- |
1 SET |
国外
|
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