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图 片
设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
CANON FPA-3000i5步进式光刻机
CANON
FPA-3000i5
1997
拆卸前处于工作状态,设备有2台在亚洲.由
国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机
CANON
FPA-3000i4
1994
拆卸前处于工作状态,设备在亚洲.由于HD
国外
CANON FPA-2500i2步进式光刻机
CANON
FPA-2500i2
-
-
国外
CANON FPA-2500i3步进式光刻机
CANON
FPA-2500i3
1994
美国在线热机2台,设备完整不缺件.
国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机
CANON
FPA-3000i4
1998
美国线上热机,完整不缺件;
晶圆尺寸:
国外
CANON FPA-3000i5步进式光刻机
CANON
FPA-3000i5
1997
6"韩国As is
国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机
CANON
PLA-501FA
-
-
国外
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1982
5"
国外
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1995
5"
国外
CANON MPA-500FAB光刻机
CANON
MPA-500FAB
1995
5"
国外
CANON MPA-500FAB光刻机
CANON
MPA-500FAB
1996
5"
国外
CANON MPA-500FA光刻机
CANON
MPA-500FA
1983
5"
国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机
CANON
PLA-501FA
1983
5"
国外
CANON FPA 5510 iX Stepper i-Line stepper
CANON
FPA 5510 iX Stepper i-Line ste
2014
线上热机
国外
CANON FPA6000es5步进式光刻机
CANON
FPA6000es5
2003
-
国外
CANON-ANELVA ILD-4100SR 8
CANON
ILD-4100SR
1996
OX Dry Etcher
国外
CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR)
CANON
L-310R-E
1999
设备名称:真空蚀刻设备(ECR)
型号
国外
CANON L-201D-L真空蚀刻设备
CANON
L-201D-L
1998
-
国外
CANON SPF-730 溅射设备
CANON
SPF-730
-
设备名称:溅射设备批量类型
型号:SP
国外
CANON C-7960FL溅射装置(CtoC)单晶片型
CANON
C-7960FL
1998
-
国外
CANON L-501S-FHL溅射设备(CtoC)
CANON
L-501S-FHL
2004
设备名称:溅射设备(CtoC)
型号:
国外
CANON L-332S-FH溅射设备
CANON
L-332S-FH
1998
-
国外
CANON C-3103溅射设备
CANON
C-3103
1996
设备名称:溅射设备
型号:C-3103
国外
CANON 特型L-400EK-L薄膜沉积设备
CANON
特型L-400EK-L
2002
设备名称:薄膜沉积设备
型号:特型 L
国外
CANON PLA-600F光罩校准器
CANON
PLA-600F
-
-
国外
CANON PLA-600光罩校准器
CANON
PLA-600
-
-
国外
CANON HP-8800
CANON
HP-8800
2001
RTP
国外
CANON MAS-8200
CANON
MAS-8200
-
ETCH
国外
CANON MAS-8220
CANON
MAS-8220
-
ETCH
国外
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
1988
PHOTOLITHO
国外
CANON I-1060SV2 Plus1
CANON
I-1060SV2 Plus1
1999
PVD
国外
CANON I-1080 PVD
CANON
I-1080PVD
2001
PVD
国外
CANON ILC-1080
CANON
ILC-1080
2003
PVD
国外
CANON M-222LD-D
CANON
M-222LD-D
2011
OTHERS
国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机
CANON
FPA-3000i4
-
Working
国外
CANON C-7100GT PVD
CANON
C-7100GT
2007
-
国外
CANON FC7102 PVD
CANON
FC7102
2005
-
国外
CANON FC7100 PVD
CANON
FC7100
2011
1x PC, 3x PVD (Dual
国外
CANON FPA-5500iZ+
CANON
FPA-5500iZ+
2005
-
国外
CANON FPA-6000 ES5
CANON
FPA-6000 ES5
2003
6" Reticle(SMIF) \,
国外
CANON FPA-6000ES6a
CANON
FPA-6000ES6a
2007
Uniformity(1.811%)
国外
CANON FPA-5500iZ
CANON
FPA-5500iZ
2001
-
国外
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。