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图 片 设备名称 制造商 型号 年份 详细配置 状 态
CANON FPA-3000i5步进式光刻机 CANON FPA-3000i5步进式光刻机 CANON FPA-3000i5 1997 拆卸前处于工作状态,设备有2台在亚洲.由 国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4 1994 拆卸前处于工作状态,设备在亚洲.由于HD 国外
CANON FPA-2500i2步进式光刻机 CANON FPA-2500i2步进式光刻机 CANON FPA-2500i2 - - 国外
CANON FPA-2500i3步进式光刻机 CANON FPA-2500i3步进式光刻机 CANON FPA-2500i3 1994 美国在线热机2台,设备完整不缺件. 国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4 1998 美国线上热机,完整不缺件;
晶圆尺寸:
国外
CANON FPA-3000i5步进式光刻机 CANON FPA-3000i5步进式光刻机 CANON FPA-3000i5 1997 6"韩国As is 国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA - - 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1982 5" 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1995 5" 国外
CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB 1995 5" 国外
CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB 1996 5" 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1983 5" 国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机	CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA 1983 5" 国外
CANON FPA 5510 iX Stepper i-Line stepper, 12" CANON FPA 5510 iX Stepper i-Line stepper CANON FPA 5510 iX Stepper i-Line ste 2014 线上热机 国外
CANON FPA6000es5步进式光刻机 CANON FPA6000es5步进式光刻机 CANON FPA6000es5 2003 - 国外
CANON-ANELVA ILD-4100SR 8 CANON-ANELVA ILD-4100SR 8 CANON ILD-4100SR 1996 OX Dry Etcher 国外
CANON	L-310R-E真空蚀刻设备(ECR) CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR) CANON L-310R-E 1999 设备名称:真空蚀刻设备(ECR)
型号
国外
CANON	L-201D-L真空蚀刻设备 CANON L-201D-L真空蚀刻设备 CANON L-201D-L 1998 - 国外
CANON	SPF-730	溅射设备 CANON SPF-730 溅射设备 CANON SPF-730 - 设备名称:溅射设备批量类型
型号:SP
国外
CANON	C-7960FL溅射装置(CtoC)单晶片型 CANON C-7960FL溅射装置(CtoC)单晶片型 CANON C-7960FL 1998 - 国外
CANON	L-501S-FHL溅射设备(CtoC) CANON L-501S-FHL溅射设备(CtoC) CANON L-501S-FHL 2004 设备名称:溅射设备(CtoC)
型号:
国外
CANON	L-332S-FH溅射设备 CANON L-332S-FH溅射设备 CANON L-332S-FH 1998 - 国外
CANON	C-3103溅射设备 CANON C-3103溅射设备 CANON C-3103 1996 设备名称:溅射设备
型号:C-3103
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CANON	特型L-400EK-L薄膜沉积设备 CANON 特型L-400EK-L薄膜沉积设备 CANON 特型L-400EK-L 2002 设备名称:薄膜沉积设备
型号:特型 L
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CANON	PLA-600F光罩校准器 CANON PLA-600F光罩校准器 CANON PLA-600F - - 国外
CANON	PLA-600光罩校准器 CANON PLA-600光罩校准器 CANON PLA-600 - - 国外
CANON	HP-8800 CANON HP-8800 CANON HP-8800 2001 RTP 国外
CANON	MAS-8200 CANON MAS-8200 CANON MAS-8200 - ETCH 国外
CANON MAS-8220 CANON MAS-8220 CANON MAS-8220 - ETCH 国外
CANON MPA-600FA投影式光刻机 CANON MPA-600FA投影式光刻机 CANON MPA-600FA 1988 PHOTOLITHO 国外
CANON	I-1060SV2 Plus1 CANON I-1060SV2 Plus1 CANON I-1060SV2 Plus1 1999 PVD 国外
CANON	I-1080 PVD CANON I-1080 PVD CANON I-1080PVD 2001 PVD 国外
CANON	ILC-1080 CANON ILC-1080 CANON ILC-1080 2003 PVD 国外
CANON	M-222LD-D CANON M-222LD-D CANON M-222LD-D 2011 OTHERS 国外
CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 CANON FPA-3000i4 - Working 国外
CANON	C-7100GT PVD CANON C-7100GT PVD CANON C-7100GT 2007 - 国外
CANON	FC7102 PVD CANON FC7102 PVD CANON FC7102 2005 - 国外
CANON	FC7100 PVD CANON FC7100 PVD CANON FC7100 2011 1x PC, 3x PVD (Dual 国外
CANON FPA-5500iZ+ CANON FPA-5500iZ+ CANON FPA-5500iZ+ 2005 - 国外
CANON	FPA-6000 ES5 CANON FPA-6000 ES5 CANON FPA-6000 ES5 2003 6" Reticle(SMIF) \, 国外
CANON FPA-6000ES6a CANON FPA-6000ES6a CANON FPA-6000ES6a 2007 Uniformity(1.811%) 国外
CANON FPA-5500iZ CANON FPA-5500iZ CANON FPA-5500iZ 2001 - 国外

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